雙(shuang)級(ji)旋(xuan)片(pian)泵的性(xing)能參(can)數解讀(du)：抽(chou)速、極限真空(kong)、功率如(ru)何看(kan)？

 

　　抽(chou)速：衡(heng)量(liang)“吸氣效率”的關(guan)鍵指(zhi)標(biao)

 

　　抽(chou)速（單(dan)位(wei)：m³/h或(huo)L/s）是(shi)指(zhi)泵在(zai)單位(wei)時(shi)間(jian)內從(cong)被抽(chou)容器(qi)中(zhong)排(pai)出(chu)的氣體體積(ji)，直接(jie)決定(ding)真(zhen)空(kong)系(xi)統的“抽(chou)氣速度(du)”。解(jie)讀這(zhe)壹(yi)參(can)數需註意(yi)兩點：壹(yi)是抽(chou)速需(xu)結(jie)合“入口壓力範圍(wei)”來(lai)看(kan)，同(tong)壹(yi)臺(tai)泵在(zai)不同(tong)壓(ya)力下(xia)抽(chou)速差(cha)異(yi)顯著。例如(ru)某型(xing)號(hao)泵標(biao)註“50L/s（1×10⁻²Pa時(shi)）”，若實(shi)際工(gong)況壓力為(wei)1Pa，實(shi)際抽(chou)速可(ke)能(neng)僅為(wei)標(biao)註值的60%；二(er)是抽(chou)速需(xu)匹(pi)配系(xi)統容(rong)積(ji)，小容積(ji)系(xi)統選(xuan)用(yong)大抽(chou)速泵會(hui)造成能耗(hao)浪費(fei)，大容積(ji)系(xi)統用(yong)小抽(chou)速泵則(ze)無(wu)法(fa)達(da)到(dao)預期(qi)真空(kong)度(du)。以(yi)半導(dao)體(ti)封(feng)裝(zhuang)為(wei)例(li)，100L的真(zhen)空(kong)腔需搭配抽(chou)速≥20m³/h的泵，才(cai)能(neng)在(zai)15分(fen)鐘內從大氣壓抽(chou)到(dao)1×10⁻³Pa。

 

　　極限真空(kong)：決(jue)定(ding)“真(zhen)空(kong)深(shen)度(du)”的核心邊界(jie)

 

　　極限真空(kong)（單(dan)位(wei)：Pa）是(shi)泵在(zai)無負(fu)載狀態(tai)下(xia)能(neng)達(da)到(dao)的低(di)壓力，代表其(qi)抽(chou)氣能力的極限。雙(shuang)級(ji)旋(xuan)片(pian)泵因采(cai)用(yong)兩級串(chuan)聯(lian)結(jie)構，極限真空(kong)通(tong)常可(ke)達(da)1×10⁻²~1×10⁻⁴Pa，遠(yuan)優於(yu)單(dan)級泵。解(jie)讀(du)時(shi)需區(qu)分(fen)“絕對壓力”與(yu)“相(xiang)對壓力”，參(can)數表中(zhong)標(biao)註的極限真空(kong)均(jun)為(wei)絕對壓力，如“5×10⁻³Pa”表示泵能(neng)將系(xi)統壓(ya)力降至大氣壓的5×10⁻⁶倍。實際應用(yong)中，極限真空(kong)需(xu)高(gao)於(yu)工(gong)藝要求，例如(ru)真空(kong)鍍(du)膜(mo)需(xu)系(xi)統壓(ya)力穩(wen)定在(zai)1×10⁻³Pa，應選(xuan)用(yong)極限真空(kong)≤5×10⁻⁴Pa的泵，預(yu)留(liu)壓力調節空(kong)間(jian)。

 

　　功率：平(ping)衡(heng)“能耗(hao)與(yu)性(xing)能”的重(zhong)要參(can)考

 

　　功率（單(dan)位(wei)：kW）反映泵運行(xing)時(shi)的能(neng)耗(hao)，與(yu)抽(chou)速、極限真空(kong)形成(cheng)“性(xing)能三(san)角”。並(bing)非功率越(yue)大越好，需(xu)結(jie)合實際工(gong)況判斷(duan)：壹(yi)是功率與(yu)抽(chou)速正相(xiang)關，相(xiang)同結(jie)構的泵，抽(chou)速從(cong)30m³/h提升至60m³/h，功率通(tong)常從1.5kW增至2.2kW；二(er)是功率需(xu)匹(pi)配供(gong)電條(tiao)件(jian)，小型實(shi)驗(yan)室常(chang)用(yong)220V/1.1kW的泵，工(gong)業(ye)生產線則(ze)多(duo)選用(yong)380V/3kW以上的大功率機(ji)型(xing)。此外(wai)，需關註“額定功率”與(yu)“運行(xing)功率”的差(cha)異，部(bu)分(fen)泵在(zai)啟動(dong)階(jie)段功率會(hui)達(da)到(dao)額定值的1.2倍，選型(xing)時(shi)需確(que)保(bao)供(gong)電線(xian)路負(fu)載余量(liang)。

 

　　參(can)數匹配的實(shi)用(yong)建議

 

　　選(xuan)型(xing)時(shi)需避(bi)免(mian)“單(dan)壹(yi)參(can)數優先”的誤區：若追(zhui)求(qiu)高(gao)真(zhen)空(kong)度(du)卻(que)忽(hu)視(shi)抽(chou)速，會(hui)導(dao)致(zhi)系(xi)統抽(chou)氣時(shi)間(jian)過長；僅(jin)關(guan)註抽(chou)速而(er)忽(hu)略(lve)功率，可(ke)能(neng)造成能耗(hao)超(chao)標(biao)。建議按(an)“工(gong)藝要求→極限真空(kong)→抽(chou)速→功率”的邏(luo)輯篩選(xuan)，例如(ru)制藥行業(ye)凍幹(gan)工(gong)藝需系(xi)統壓(ya)力≤1×10⁻³Pa、抽(chou)速≥50m³/h，可(ke)對應選(xuan)擇(ze)極限真空(kong)1×10⁻⁴Pa、抽(chou)速60m³/h、功率2.2kW的機(ji)型，既(ji)滿足(zu)工(gong)藝需求，又實(shi)現能(neng)耗(hao)優化(hua)。