熱(re)陰(yin)極復(fu)合規(gui)-杭州首泉(quan)真(zhen)空(kong)設(she)備(bei)有限公司(si)

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ITR90熱(re)陰(yin)極復(fu)合規(gui) ITR90熱(re)陰(yin)極復(fu)合規(gui)是(shi)壹種(zhong)熱(re)陰(yin)極電離真(zhen)空(kong)規(gui)（Hot Cathode Ionization Gauge, HIG），通(tong)常用(yong)於(yu)高真(zhen)空(kong)（HV）和超(chao)高真(zhen)空(kong)（UHV）測(ce)量。它結合了(le)熱(re)陰(yin)極發射(she)電子和離子電流檢(jian)測技(ji)術(shu)，是(shi)科(ke)研(yan)、半導(dao)體(ti)和真(zhen)空(kong)鍍(du)膜等領域的(de)核(he)心真(zhen)空(kong)傳感(gan)器之壹。

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