熱陰(yin)極(ji)復(fu)合(he)規(gui)作(zuo)為壹(yi)種常用(yong)的真空(kong)測(ce)量(liang)儀器(qi)，憑(ping)借(jie)其(qi)寬量(liang)程、高精(jing)度的(de)優(you)勢，成為(wei)真空(kong)技術(shu)中重要(yao)的(de)核心設備(bei)。很多人(ren)對(dui)它的名(ming)字感(gan)到(dao)陌生，其(qi)實它(ta)就像真空(kong)環(huan)境的“壓力探測(ce)器(qi)”，默(mo)默(mo)為各(ge)行各(ge)業的(de)真空(kong)應(ying)用(yong)保(bao)駕護(hu)航(hang)。熱陰(yin)極(ji)復(fu)合(he)規(gui)的(de)核心(xin)是“復(fu)合(he)”字，它(ta)結合(he)了(le)熱(re)陰極(ji)電(dian)離(li)規和冷(leng)陰極(ji)電(dian)離(li)規的測(ce)量(liang)原(yuan)理(li)，實現(xian)了(le)從(cong)低(di)真空(kong)到(dao)超高真空(kong)的(de)全量(liang)程覆蓋(gai)。其(qi)基本工(gong)作(zuo)邏輯(ji)是通(tong)過(guo)熱陰(yin)極(ji)發(fa)射電(dian)子(zi)，電(dian)子(zi)在(zai)電場作用(yong)下與(yu)真空(kong)環(huan)境中的(de)氣(qi)體分(fen)子(zi)碰(peng)撞(zhuang)，使氣(qi)體分(fen)子(zi)電(dian)離(li)產生離(li)子(zi)，再通(tong)過(guo)測(ce)量(liang)離(li)子(zi)流(liu)的強度來(lai)推(tui)算氣(qi)體壓力。簡單來(lai)說(shuo)，氣體壓力越高(gao)，分(fen)子(zi)...

傳(chuan)統(tong)油(you)封(feng)式真空(kong)泵(beng)因(yin)潤滑油(you)汙染(ran)問題逐(zhu)漸(jian)被淘(tao)汰，而(er)螺(luo)桿幹泵(beng)憑(ping)借(jie)其(qi)獨(du)特(te)的(de)機械結構設計，開(kai)創了無油(you)潔凈(jing)抽(chou)真空(kong)的(de)技術(shu)新(xin)紀(ji)元。在(zai)半導(dao)體制造(zao)、制藥生產(chan)和(he)精密(mi)光(guang)學等領域，真空(kong)環(huan)境的純(chun)凈(jing)度直(zhi)接影響產(chan)品(pin)質(zhi)量(liang)與工(gong)藝(yi)成(cheng)敗。壹(yi)、機(ji)械結構的(de)革命性(xing)突破螺(luo)桿幹泵(beng)的(de)核心部(bu)件(jian)是由(you)壹(yi)對(dui)相互嚙合(he)的(de)螺(luo)旋(xuan)形(xing)轉子(zi)構成(cheng)的密封(feng)腔(qiang)體系(xi)統(tong)。陽(yang)轉(zhuan)子(zi)與(yu)陰轉(zhuan)子(zi)通(tong)過(guo)精確(que)的(de)同步齒(chi)輪保(bao)持0.01mm級間(jian)隙配(pei)合(he)，在(zai)旋轉(zhuan)過(guo)程中形(xing)成連(lian)續變(bian)化(hua)的(de)容積腔(qiang)。這(zhe)種非接觸式設計消(xiao)除(chu)了機(ji)械摩擦產生的(de)微粒汙染，轉子(zi)表(biao)面經特(te)殊(shu)塗層(ceng)處理後可實現(xian)連(lian)續20000小時無磨...

在(zai)現代(dai)真空(kong)獲(huo)得技術(shu)中，由(you)多級羅茨幹泵(beng)與(yu)前(qian)級泵(beng)組成的(de)抽(chou)氣機(ji)組，已成(cheng)為(wei)獲得清(qing)潔(jie)中、高(gao)真空(kong)的(de)主流(liu)方案(an)之壹(yi)。該系(xi)統(tong)的(de)性(xing)能(neng)優(you)劣，不(bu)僅(jin)取(qu)決(jue)於(yu)單個(ge)泵(beng)的(de)品(pin)質(zhi)，更(geng)關(guan)鍵(jian)在(zai)於(yu)兩(liang)級泵(beng)之(zhi)間(jian)能(neng)否實現(xian)高(gao)效(xiao)、穩(wen)定、協調的(de)匹配(pei)。正確的(de)匹配(pei)是保(bao)障(zhang)系(xi)統(tong)達(da)到(dao)最(zui)佳抽(chou)速、極(ji)限真空(kong)及(ji)運行(xing)可靠(kao)性的基(ji)石。壹(yi)、核(he)心基礎：工(gong)作(zuo)壓力範(fan)圍的銜接匹配(pei)的首(shou)要原(yuan)則(ze)是確保(bao)兩級泵(beng)的(de)工(gong)作(zuo)壓力範(fan)圍無縫銜接。羅茨泵(beng)因(yin)其(qi)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)，不(bu)能(neng)單獨(du)在(zai)大氣壓下啟(qi)動，必(bi)須在(zai)前(qian)級泵(beng)將系(xi)統(tong)壓力預(yu)抽(chou)至其(qi)允許(xu)啟(qi)動的(de)壓力（通(tong)常為10~100Pa量(liang)級）以(yi)下(xia)時(shi)才能(neng)投入(ru)運(yun)行。同時...

在(zai)真空(kong)應(ying)用(yong)領域，雙(shuang)級旋片泵(beng)憑(ping)借(jie)高(gao)真空(kong)度、低(di)噪(zao)音(yin)等(deng)優(you)勢，廣(guang)泛(fan)用(yong)於(yu)電(dian)子(zi)制造(zao)、醫(yi)療器(qi)械、材料研(yan)發(fa)等場景。但許(xu)多用(yong)戶在(zai)選型(xing)時(shi)，常被抽(chou)速、極(ji)限真空(kong)、功率等參(can)數困擾(rao)。這些(xie)指標並非(fei)孤立存(cun)在(zai)，而是(shi)相互關(guan)聯(lian)的性能(neng)核心(xin)，正(zheng)確(que)解讀(du)才能(neng)發(fa)揮設備(bei)最(zui)大效能(neng)。抽(chou)速：衡量(liang)“吸氣(qi)效(xiao)率(lv)”的關鍵(jian)指標抽(chou)速（單位(wei)：m³/h或(huo)L/s）是指泵(beng)在(zai)單位(wei)時(shi)間(jian)內(nei)從被(bei)抽(chou)容器(qi)中排出的(de)氣(qi)體體積，直(zhi)接決(jue)定(ding)真空(kong)系(xi)統(tong)的(de)“抽(chou)氣速(su)度”。解(jie)讀(du)這壹(yi)參(can)數需註意(yi)兩(liang)點：壹(yi)是(shi)抽(chou)速需(xu)結合(he)“入(ru)口壓力範(fan)圍”來(lai)看(kan)，同壹(yi)臺(tai)泵(beng)在(zai)不(bu)同壓力下(xia)抽(chou)速差(cha)異顯著(zhu)。例(li)如(ru)某型號泵(beng)標註...

在(zai)工(gong)業生產(chan)的(de)眾(zhong)多設備(bei)中，WAU羅茨泵(beng)以(yi)其(qi)工(gong)作(zuo)特(te)性(xing)發(fa)揮著(zhe)關鍵(jian)作用(yong)。而其(qi)工(gong)作(zuo)溫(wen)度範(fan)圍，是影響設備(bei)性(xing)能(neng)、壽命(ming)及(ji)生產(chan)穩(wen)定性(xing)的(de)重要(yao)因(yin)素。通(tong)常情況下，WAU羅茨泵(beng)允(yun)許(xu)的(de)環(huan)境溫度壹(yi)般在(zai)5°C至40°C之(zhi)間(jian)。在(zai)正常運行時，泵(beng)體的溫(wen)度通(tong)常能(neng)達到(dao)80°C至(zhi)100°C左(zuo)右。這(zhe)壹(yi)溫(wen)度範(fan)圍是基於(yu)泵(beng)的(de)材料特(te)性(xing)、機械設計以(yi)及(ji)散熱(re)能(neng)力等(deng)多方面因素確定(ding)的。在(zai)該溫(wen)度區間(jian)內(nei)，泵(beng)的(de)各(ge)部(bu)件(jian)能(neng)夠(gou)保(bao)持良好(hao)的物(wu)理性(xing)能(neng)和機(ji)械性(xing)能(neng)，確保(bao)泵(beng)穩(wen)定、高(gao)效(xiao)地(di)運行(xing)。影響羅茨泵(beng)工(gong)作(zuo)溫(wen)度的(de)因(yin)素較為(wei)復(fu)雜(za)。環(huan)境溫度對(dui)其(qi)有著(zhe)直接影響，當周(zhou)圍環(huan)境處...

磁懸浮(fu)分(fen)子(zi)泵(beng)是(shi)壹(yi)種基於(yu)磁懸浮(fu)原(yuan)理(li)，利(li)用(yong)磁場懸浮(fu)和(he)無接觸運動來(lai)實現(xian)氣(qi)體分(fen)子(zi)的(de)抽(chou)取(qu)和壓縮的(de)先(xian)進技術(shu)。與(yu)傳(chuan)統(tong)的(de)機(ji)械泵(beng)不(bu)同，它采用(yong)無磨(mo)損(sun)、無油(you)的設計，減(jian)少(shao)了(le)機(ji)械磨(mo)損(sun)、提(ti)升(sheng)了(le)泵(beng)的(de)可靠(kao)性與使(shi)用(yong)壽命(ming)。近年來(lai)，磁懸浮(fu)分(fen)子(zi)泵(beng)被(bei)廣(guang)泛(fan)應用(yong)於(yu)多個(ge)領域，涉(she)及(ji)從高(gao)科技制造(zao)到(dao)環(huan)保(bao)、醫學等多個(ge)行(xing)業。1.半導(dao)體制造(zao)與(yu)真空(kong)技術(shu)在(zai)半導(dao)體制造(zao)過(guo)程中，真空(kong)環(huan)境至關(guan)重要(yao)，尤(you)其(qi)是在(zai)薄(bo)膜沈積、離(li)子(zi)刻(ke)蝕等工(gong)藝(yi)中。傳(chuan)統(tong)的(de)分(fen)子(zi)泵(beng)常因機械部(bu)件(jian)的磨損(sun)和油(you)汙染(ran)導(dao)致工(gong)作(zuo)效(xiao)率(lv)下降(jiang)，影響產(chan)品(pin)的(de)質(zhi)量(liang)與精(jing)度。它(ta)的(de)無油(you)和無(wu)接觸設計，解(jie)決(jue)了(le)這(zhe)壹(yi)問題...