熱陰(yin)極(ji)復合(he)規作(zuo)為壹種常(chang)用的真(zhen)空測(ce)量儀器，憑(ping)借其寬量程(cheng)、高精度(du)的(de)優勢(shi)，成(cheng)為真(zhen)空技(ji)術中(zhong)重要(yao)的核心設備。很(hen)多(duo)人(ren)對它(ta)的(de)名(ming)字感到(dao)陌(mo)生(sheng)，其實它就(jiu)像(xiang)真(zhen)空環(huan)境的(de)“壓(ya)力探(tan)測器”，默默(mo)為各行各業(ye)的真(zhen)空應(ying)用保駕(jia)護(hu)航(hang)。熱(re)陰(yin)極(ji)復合(he)規的(de)核心是(shi)“復合(he)”字，它(ta)結合了熱陰極(ji)電離規和(he)冷陰極電離規的(de)測量原(yuan)理，實現(xian)了(le)從低真(zhen)空到(dao)超(chao)高真(zhen)空的(de)全(quan)量程(cheng)覆(fu)蓋(gai)。其基(ji)本工作(zuo)邏(luo)輯是(shi)通過(guo)熱(re)陰極(ji)發射電子，電子在(zai)電場(chang)作(zuo)用下與真(zhen)空環(huan)境中(zhong)的氣(qi)體分子碰撞(zhuang)，使氣(qi)體分子電離產(chan)生(sheng)離子，再通過(guo)測(ce)量離子流(liu)的(de)強(qiang)度(du)來推算氣體壓力。簡(jian)單來(lai)說，氣體壓力越高，分子...

傳(chuan)統(tong)油封(feng)式真(zhen)空泵(beng)因潤滑(hua)油汙染(ran)問(wen)題(ti)逐漸(jian)被淘汰(tai)，而螺桿幹泵(beng)憑(ping)借其獨特(te)的機械(xie)結構設計，開創(chuang)了(le)無油潔凈(jing)抽真(zhen)空的(de)技(ji)術新紀(ji)元(yuan)。在(zai)半(ban)導體制造(zao)、制藥生(sheng)產(chan)和精密光學(xue)等領(ling)域，真(zhen)空環(huan)境的(de)純凈度(du)直(zhi)接(jie)影(ying)響產(chan)品(pin)質(zhi)量與工藝(yi)成(cheng)敗(bai)。壹、機械(xie)結構的革(ge)命(ming)性突(tu)破螺桿幹泵(beng)的核心(xin)部件是(shi)由(you)壹對相互(hu)嚙合(he)的螺旋形(xing)轉子構成(cheng)的密封(feng)腔體系統(tong)。陽轉(zhuan)子與陰(yin)轉子通過(guo)精確的同步(bu)齒輪保持0.01mm級(ji)間(jian)隙配(pei)合(he)，在(zai)旋轉(zhuan)過程(cheng)中(zhong)形成(cheng)連續變化(hua)的(de)容(rong)積腔。這種(zhong)非(fei)接(jie)觸式設計消(xiao)除了(le)機械(xie)摩擦產(chan)生(sheng)的(de)微粒(li)汙(wu)染(ran)，轉子表面(mian)經特(te)殊塗層(ceng)處理(li)後可(ke)實(shi)現連續20000小時(shi)無磨...

在(zai)現代真(zhen)空獲得(de)技術中(zhong)，由多(duo)級(ji)羅(luo)茨(ci)幹(gan)泵(beng)與前(qian)級(ji)泵(beng)組成(cheng)的抽氣機組，已成(cheng)為獲得(de)清潔(jie)中(zhong)、高真(zhen)空的(de)主(zhu)流(liu)方案之壹。該系統(tong)的(de)性能(neng)優(you)劣(lie)，不僅取決(jue)於(yu)單個(ge)泵(beng)的品(pin)質(zhi)，更關鍵在(zai)於兩(liang)級(ji)泵(beng)之間(jian)能(neng)否實現(xian)高效、穩(wen)定、協調的(de)匹(pi)配(pei)。正確的匹(pi)配(pei)是(shi)保障系(xi)統達到最佳(jia)抽速、極(ji)限真(zhen)空及(ji)運(yun)行可(ke)靠(kao)性的基(ji)石。壹、核心基(ji)礎：工作(zuo)壓(ya)力範(fan)圍的銜接(jie)匹(pi)配(pei)的(de)首要(yao)原(yuan)則是確保兩(liang)級(ji)泵(beng)的工作(zuo)壓(ya)力範(fan)圍無縫銜接(jie)。羅(luo)茨(ci)泵(beng)因其工作(zuo)原(yuan)理，不能(neng)單獨(du)在(zai)大氣(qi)壓下啟(qi)動(dong)，必須在(zai)前(qian)級(ji)泵(beng)將系統(tong)壓力預抽至其允許(xu)啟(qi)動(dong)的壓力（通常(chang)為10~100Pa量級(ji)）以(yi)下(xia)時(shi)才(cai)能(neng)投入(ru)運行。同時(shi)...

在(zai)真(zhen)空應(ying)用領域，雙(shuang)級(ji)旋片(pian)泵(beng)憑(ping)借高真(zhen)空度(du)、低噪音(yin)等優(you)勢(shi)，廣泛(fan)用於電子制造(zao)、醫療(liao)器械、材(cai)料(liao)研發等場(chang)景。但許(xu)多(duo)用戶在(zai)選型(xing)時(shi)，常(chang)被抽速、極(ji)限真(zhen)空、功(gong)率等參數困(kun)擾。這(zhe)些(xie)指標並(bing)非(fei)孤(gu)立(li)存(cun)在(zai)，而是相互(hu)關聯(lian)的性能(neng)核(he)心，正確解讀才(cai)能(neng)發(fa)揮(hui)設備最(zui)大(da)效能(neng)。抽速：衡量“吸氣(qi)效率”的關鍵指標抽速（單位(wei)：m³/h或(huo)L/s）是指泵(beng)在(zai)單位(wei)時(shi)間(jian)內從被抽容器中(zhong)排(pai)出(chu)的(de)氣體體積，直(zhi)接(jie)決(jue)定真(zhen)空系(xi)統(tong)的(de)“抽氣速(su)度(du)”。解讀(du)這壹參數需註意兩(liang)點：壹是抽速需結合“入(ru)口壓(ya)力範(fan)圍”來看(kan)，同壹臺泵(beng)在(zai)不同壓力下抽速差(cha)異顯著。例(li)如(ru)某型(xing)號(hao)泵(beng)標註(zhu)...

在(zai)工業(ye)生(sheng)產(chan)的眾多(duo)設備中(zhong)，WAU羅(luo)茨(ci)泵(beng)以(yi)其工作(zuo)特(te)性發揮(hui)著(zhe)關(guan)鍵作用。而其工作(zuo)溫(wen)度範(fan)圍，是影(ying)響設(she)備性能(neng)、壽(shou)命(ming)及(ji)生(sheng)產(chan)穩定性的重(zhong)要(yao)因素。通常(chang)情(qing)況(kuang)下(xia)，WAU羅(luo)茨(ci)泵(beng)允許(xu)的(de)環(huan)境溫(wen)度(du)壹般(ban)在(zai)5°C至40°C之(zhi)間(jian)。在(zai)正常(chang)運(yun)行時(shi)，泵(beng)體的溫(wen)度(du)通常(chang)能(neng)達到80°C至100°C左右(you)。這(zhe)壹溫度範(fan)圍是基(ji)於泵(beng)的材料(liao)特(te)性、機械(xie)設(she)計以(yi)及(ji)散(san)熱(re)能(neng)力等多(duo)方面(mian)因素確定的。在(zai)該溫(wen)度區間(jian)內，泵(beng)的各部(bu)件能(neng)夠保持良好的(de)物(wu)理性能(neng)和(he)機械(xie)性能(neng)，確保泵(beng)穩定、高效地運(yun)行。影(ying)響羅(luo)茨(ci)泵(beng)工作(zuo)溫(wen)度的(de)因素較(jiao)為復雜(za)。環(huan)境溫(wen)度(du)對(dui)其有著(zhe)直(zhi)接(jie)影(ying)響，當(dang)周(zhou)圍環(huan)境處(chu)...

磁(ci)懸浮(fu)分子泵(beng)是壹種基(ji)於磁(ci)懸浮(fu)原(yuan)理，利(li)用磁(ci)場(chang)懸浮(fu)和無接(jie)觸運動(dong)來(lai)實(shi)現氣體分子的抽取和(he)壓(ya)縮的先(xian)進技術。與傳統的(de)機械(xie)泵(beng)不同，它采(cai)用無磨損、無油的設(she)計(ji)，減(jian)少(shao)了(le)機械(xie)磨損、提(ti)升了泵(beng)的可(ke)靠(kao)性與使(shi)用壽命(ming)。近(jin)年來，磁(ci)懸浮(fu)分子泵(beng)被廣泛(fan)應用於多(duo)個領(ling)域，涉(she)及(ji)從高科技制造(zao)到環(huan)保、醫(yi)學(xue)等多(duo)個行業(ye)。1.半(ban)導體制造(zao)與真(zhen)空技(ji)術在(zai)半(ban)導體制造(zao)過程(cheng)中(zhong)，真(zhen)空環(huan)境至(zhi)關(guan)重(zhong)要，尤其是在(zai)薄膜(mo)沈積、離子刻蝕等工藝(yi)中(zhong)。傳統(tong)的分子泵(beng)常(chang)因(yin)機械(xie)部(bu)件的(de)磨損和(he)油汙染(ran)導致工作(zuo)效率下降，影(ying)響產(chan)品(pin)的(de)質量與精度(du)。它(ta)的無油和無接(jie)觸設計(ji)，解(jie)決(jue)了(le)這(zhe)壹問(wen)題(ti)...